Zusammenstellung und Erläuterung wesentlicher Fachbegriffe aus der Härte- und Oberflächentechnik

Amorph

Festkörperzustand mit regelloser Anordnung der Atome bzw. Moleküle

Beschichtungstemperatur

Temperatur des Substrats während der Beschichtung

Chemische Gasphasenabscheidung

ein Beschichtungsverfahren, bei dem Feststoffe aus einer Gasphase chemisch abgeschieden werden, zwei oder mehr gasförmige Komponenten umströmen das zu beschichtende Werkstück bei Beschichtungstemperaturen von 800 bis 1050°C; die Komponenten werden unter Einbeziehung der Werkstückoberflächen des Trägerwerkstoffes zur Reaktion gebracht und bilden auf diesen Oberflächen fest haftende Schichten. Mit Plasmaunterstützung (PACVD, bzw. PECVD) kann die Beschichtungstemperatur bis unter 150°C gesenkt werden.

CVD

Abkürzung für englisch: chemical vapour deposition, chemische Gasphasenabscheidung

Diamond-like-carbon

aus dem Englischen (diamantähnlicher Kohlenstoff). Bezeichnung für die amorphen Kohlenstoffschichten. Abkürzung: DLC.

Diffusionszone

Die Diffusionszone ist der innere Teil der Gesamtnitriertiefe. Die Diffusionszone  hat zum Werkstückinneren hin eine abnehmende Härte.

DLC

Abkürzung für Diamond-like-carbon. Eine Beschichtung, welche aus Kohlenstoff in amorpher, graphitischer und kristalliner Bindung besteht.

Duplex-Beschichtung

Kombinationsbeschichtung aus zwei Verfahren der Härte- und Oberflächentechnik. Z. B. Nitrieren und daraufliegende PVD-Beschichtung

Kohlenstoffschicht

Beschichtung, die zu einem überwiegenden Teil aus dem chemischen Element Kohlenstoff besteht, üblicherweise als DLC-Schicht bezeichnet.

Nitrierhärtetiefe

Die Nitrierhärtetiefe ist die Gesamtdicke der Randschicht, bestehend aus Verbindungsschicht und Diffusionszone

PACVD oder PECVD

Abkürzung für englisch: plasma assisted chemical vapor deposition; bzw. plasma enhanced chemical vapour deposition; , plasma-unterstütztes CVD

Physikalische Gasphasenabscheidung

ein Beschichtungsverfahren, bei dem das Beschichtungsmaterial mittels eines physikalischen Verfahrens aus einem Feststoff atomar in die Gasphase überführt wird (z. B. Verdampfen, Lichtbogenverdampfen, Sputtern);

Plasma

Gas, in dem ein Teil der Moleküle in positive Ionen und negative Elektronen zerlegt ist;

PVD

Abkürzung für englisch: physical vapour deposition; physikalische Gasphasenabscheidung

Reibungskoeffizient

auch Reibbeiwert genannt, beschreibt das Verhältnis von Reibungskraft und Normalkraft (Anpresskraft) zweier Reibpartner. Dieser Wert hängt stark von den Randbedingungen ab. Dazu zählen (Oberflächenmaterialien, Oberflächenrauheit, Schmierzustand, Temperatur, etc.). Die genannten Reibbeiwerte sind unter vereinheitlichten Laborbedingungen (gegen Stahl, 20°, trocken) gemessen worden. In der Praxis sind stark abweichende Reibbeiwerte zu erwarten.

Sputtern

Verfahren der PVD-Beschichtung bei dem durch ein Arbeitsgas mittels Plasmaanregung ein festes Ausgangsmaterial (Target) atomar zerstäubt wird. Sputtern erzeugt besonders glatte Oberflächen ohne Makropartikel (Droplets).

Verbindungsschicht

Die Verbindungsschicht ist der aussenliegende Teil der Nitrierschicht. Sie hat eine hohe Härte und verbessert die Verschleißeigenschaften des Werkstücks. Die Dicke der Schicht nimmt mit der Nitrierdauer und -temperatur zu.